一、电子级磷酸用途分析：

1、用于基片涂胶前的清洗

2、用于光刻过程中的蚀刻及后去胶；

3、用于硅片本身制作过程中的清洗及绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、 导体膜蚀刻、 有机材料蚀刻等

二、电子级磷酸制备工艺

1、用高纯磷制备电子级磷酸的工艺

2、用高纯制备电子级磷酸的工艺

3、用三氯氧磷制备电子级磷酸的工艺

四、电子级磷酸质量等级

E1为普通电子级磷酸

E2为高纯电子级磷酸

磷酸或正磷酸，化学式H3PO4，分子量为97.9724，是一种常见的无机酸，是中强酸。由五氧化二磷溶于热水中即可得到。正磷酸工业上用硫酸处理磷灰石即得。磷酸在空气中容易潮解。加热会失水得到焦磷酸，再进一步失水得到偏磷酸。磷酸主要用于制药、食品、肥料等工业，也可用作化学试剂。无色透明的粘稠状液体。经高温加热便失水成焦磷酸和偏磷酸，山东磷酸，长时间受冷即生成结晶，有腐蚀性，磷酸价格，易吸湿，密封保存。

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食品添加剂磷酸应贮放在阴凉、通风的库房内。高浓度磷酸在冬季寒冷地区要注意保温，防止结冰，防止容器发生渗漏。不可与碱类、有毒物品及其他腐蚀性物品共贮混运。

运输时要防雨淋和烈日曝晒。装卸时要轻拿轻放，严禁猛烈撞击，防止包装容器。时磷酸，食品添加剂磷酸的储运方法可用干砂、干粉灭火器扑救。

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